三秦都市報(bào)-三秦網(wǎng)訊(記者 楊琪)近日,由陜西電子信息集團(tuán)為投資主體建設(shè)的陜西電子芯業(yè)時(shí)代科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱“芯業(yè)時(shí)代”)8英寸高性能特色工藝半導(dǎo)體生產(chǎn)線正式實(shí)現(xiàn)通線投產(chǎn)。作為西北地區(qū)首條8英寸芯片產(chǎn)線,該項(xiàng)目總投資45億元,一期已完成投資32億,項(xiàng)目于9月正式通線投產(chǎn),標(biāo)志著陜西在高端半導(dǎo)體制造領(lǐng)域取得重大突破,將為我國(guó)功率半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)化替代注入強(qiáng)勁動(dòng)能。

高標(biāo)準(zhǔn)布局國(guó)產(chǎn)化產(chǎn)線
項(xiàng)目位于西安市高新綜合保稅區(qū),總建筑面積17.39萬平方米,由17棟單體建筑構(gòu)成。一期投資32億元,設(shè)計(jì)月產(chǎn)能5萬片晶圓,未來可擴(kuò)展至10萬片。產(chǎn)線采用“建成即先進(jìn)”理念,不僅預(yù)留了12英寸產(chǎn)線升級(jí)空間,更實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵設(shè)備自主可控——主工藝設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率超60%,輔機(jī)輔件國(guó)產(chǎn)化率近90%。此外,超80%的設(shè)備兼容第三代半導(dǎo)體研發(fā)與生產(chǎn),為碳化硅等前沿技術(shù)布局奠定基礎(chǔ)。
高效推進(jìn)通線試生產(chǎn)
自2024年5月主廠房首根樁基施工以來,項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)以分區(qū)并行策略加速建設(shè)。2025年3月首臺(tái)工藝設(shè)備搬入,8月中旬完成通電聯(lián)調(diào),9月底實(shí)現(xiàn)流片試生產(chǎn)。截至目前,潔凈室環(huán)境及廠務(wù)動(dòng)力系統(tǒng)均已達(dá)標(biāo)投運(yùn),光刻、刻蝕等核心工藝區(qū)通線設(shè)備調(diào)試已基本完成,產(chǎn)品良率已突破95%,年底將累計(jì)實(shí)現(xiàn)數(shù)千片晶圓生產(chǎn)銷售。

區(qū)域協(xié)同與強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)鏈
據(jù)了解,芯業(yè)時(shí)代功率半導(dǎo)體芯片產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于手機(jī)等消費(fèi)級(jí)電子終端各式產(chǎn)品、綠色能源產(chǎn)業(yè)、車規(guī)級(jí)高端應(yīng)用場(chǎng)景,以及關(guān)系國(guó)計(jì)民生的高壓特高壓輸變電領(lǐng)域,市場(chǎng)應(yīng)用廣泛,進(jìn)口替代空間廣闊。
項(xiàng)目主要技術(shù)包括創(chuàng)新型新結(jié)構(gòu)中低壓器件、高可靠中高壓功率器件、滿足特定應(yīng)用需求COT功率集成電路等工藝平臺(tái)。陜西電子芯業(yè)時(shí)代總經(jīng)理張國(guó)偉表示,2025年公司已完成項(xiàng)目一期2萬片/月產(chǎn)能建設(shè),150余臺(tái)套主工藝設(shè)備及400余臺(tái)套輔助工藝設(shè)備均已完成設(shè)備移入、定位安裝、二次配管工作,設(shè)備調(diào)試與核心單項(xiàng)工藝開發(fā)均按規(guī)劃高質(zhì)量有序推進(jìn),在12月份將實(shí)現(xiàn)數(shù)千片產(chǎn)出。同時(shí),芯業(yè)時(shí)代目前已與8家已上市或同等規(guī)模企業(yè)形成實(shí)質(zhì)業(yè)務(wù)合作,明年全年產(chǎn)能已基本售罄。

陜西電子信息集團(tuán)副總經(jīng)理、芯業(yè)時(shí)代董事長(zhǎng)楊柯表示,芯業(yè)時(shí)代8吋線是省市培育和發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力的重點(diǎn)企業(yè),項(xiàng)目通線投產(chǎn)能夠有效填補(bǔ)陜西集成電路制造短板,打造具有陜西特色的集成電路產(chǎn)業(yè)聚集區(qū),并為后續(xù)12英寸產(chǎn)線建設(shè)積累經(jīng)驗(yàn)。公司在2026年內(nèi)將持續(xù)增資,產(chǎn)能建設(shè)按項(xiàng)目初期規(guī)劃達(dá)到5萬片/月,并持續(xù)深耕高端產(chǎn)品與特色工藝研發(fā),持續(xù)完善各工藝平臺(tái),打造智能化高質(zhì)量晶圓制造產(chǎn)線,服務(wù)好省內(nèi)及全球客戶。